阿斯塔克半導(dǎo)體行業(yè)配套傳動(dòng)模組是專(zhuān)為半導(dǎo)體制造及相關(guān)精密設(shè)備設(shè)計(jì)的傳動(dòng)解決方案，集成了高精度減速機(jī)、精密電機(jī)、傳感器及控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的運(yùn)動(dòng)控制精度，滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)設(shè)備穩(wěn)定性和精度的嚴(yán)苛要求。采用諧波減速機(jī)、行星減速機(jī)等精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，結(jié)合高分辨率編碼器，實(shí)現(xiàn)±1μm以內(nèi)的重復(fù)定位精度，確保半導(dǎo)體設(shè)備在晶圓加工、檢測(cè)等環(huán)節(jié)的精準(zhǔn)操作。

阿斯塔克半導(dǎo)體行業(yè)配套傳動(dòng)模組特點(diǎn)：

薄型、小巧 

實(shí)現(xiàn)了機(jī)械、裝置小型化、構(gòu)造簡(jiǎn)單化。

內(nèi)置剛性性能優(yōu)異的支撐裝置

用途：

半導(dǎo)體制造設(shè)備 : 搬運(yùn)機(jī)器人、檢查平臺(tái)

液晶制造設(shè)備 : 搬運(yùn)機(jī)器人、檢查平臺(tái)

光產(chǎn)業(yè)相關(guān)裝置